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2023年8月20-22日，“2023中國真空技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用大會暨半導(dǎo)體真空設(shè)備與零部件高端論壇”將于上海張江科學(xué)會堂（上海市浦東新區(qū)海科路1393號，地鐵13號線學(xué)林路站1號口，步行420米）舉辦
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