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光馳A800TBS原子層沉積系統(tǒng)是專業(yè)應(yīng)用于晶圓級光學(xué)領(lǐng)域的工業(yè)化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
A800DAC是滿足先進(jìn)制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進(jìn)封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進(jìn)薄膜應(yīng)用。
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