自成立以來，我們用汗水和智慧，在全球譜寫光馳的榮譽華章和守正致遠的時代傳奇！
A1000PC是面向于工業化大規模生產的原子層沉積系統，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區進行，節省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統是專業應用于晶圓級光學領域的工業化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
應用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics
A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
關注官方微信公眾號
Copyright ? 2023 光馳半導體技術（上海）有限公司 滬ICP備2023009503號-1 滬公網安備31011302007876
滬公網安備31011302007876